Threading dislocations in GaAs epitaxial layers on various thickness Ge buffers on 300 mm Si substrates
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Veröffentlicht in: | Journal of crystal growth 2016-11, Vol.453, p.180-187 |
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Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
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Online-Zugang: | Volltext |
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ISSN: | 0022-0248 |
DOI: | 10.1016/j.jcrysgro.2016.08.022 |