The effect of post-implantation annealing on the microstructure of Al2O3 implanted with iron at − 185°C

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Nuclear instruments & methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms Beam interactions with materials and atoms, 1991-07, Vol.59-60, p.1187-1194
Hauptverfasser:	Sklad, P.S., Romana, L., McHargue, C.J., White, C.W., McCallum, J.C.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Education Humanities and Social Sciences Library and information sciences
Online-Zugang:	Volltext
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