Frequency Effect on Voltage Linearity of ZrO2-Based RF Metal-Insulator-Metal Capacitors

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	IEEE electron device letters 2010-02, Vol.31 (2), p.114-116
Hauptverfasser:	BERTAUD, Thomas, BLONKOWSKI, Serge, BERMOND, Cédric, VALLEE, Christophe, GONON, Patrice, GROS-JEAN, Michaël, FLECHET, Bernard
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Dielectric, amorphous and glass solid devices Electronics Engineering Sciences Exact sciences and technology Micro and nanotechnologies Microelectronics Semiconductor electronics. Microelectronics. Optoelectronics. Solid state devices
Online-Zugang:	Volltext
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