Monte Carlo simulation of charge exchange processes in the scattering of 4 keV He+ ions by an amorphous silicon surface
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Veröffentlicht in: | Nuclear instruments & methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms Beam interactions with materials and atoms, 2007-05, Vol.258 (1), p.40-43 |
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Hauptverfasser: | , , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Online-Zugang: | Volltext |
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ISSN: | 1872-9584 0168-583X |
DOI: | 10.1016/j.nimb.2006.12.085 |