Process monitoring of semiconductor thin film and interfaces by spectroellipsometry

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Applied surface science 2000, p.283-290
Hauptverfasser:	Brenot, Romain, Drévillon, Bernard, Bulkin, Pavel, Roca I Cabarrocas, P., Vanderhagen, R.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Engineering Sciences
Online-Zugang:	Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:	0169-4332 1873-5584