SIMS quantification of thick Si1-xGex films (0 ≤ x ≤ 1) using the isotopic comparative method under Ar+ beam

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Surface and interface analysis 2013, Vol.45
Hauptverfasser:	Prudon, G., Dubois, C., Gautier, B., Dupuy, J.C., Graf, J.P., Le Gall, Y., Muller, D.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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