SIMS quantification of thick Si1-xGex films (0 ≤ x ≤ 1) using the isotopic comparative method under Ar+ beam
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Veröffentlicht in: | Surface and interface analysis 2013, Vol.45 |
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Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Online-Zugang: | Volltext |
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ISSN: | 0142-2421 1096-9918 |