Stability of Microcrystalline Silicon TFTs

Stability of microcrystalline silicon (µc-Si:H) Top-Gate TFTs processed at T

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	ECS transactions 2009, Vol.16 (9), p.121-129
Hauptverfasser:	Belarbi, Khaled, Kandoussi, Khalid, Coulon, Nathalie, Simon, Claude, Cherfi, Rabah, Fedala, Abdelkrim, Mohammed-Brahim, Tayeb
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Stability of microcrystalline silicon (µc-Si:H) Top-Gate TFTs processed at T
ISSN:	1938-5862 1938-6737
DOI:	10.1149/1.2980540