Characterization of grating structures by Mueller polarimetry in presence of strong depolarization due to finite spot size and spectral resolution

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Optics communications 2009, Vol.282
Hauptverfasser: Foldyna, Martin, Garcia-Caurel, Enric, de Martino, Antonello, Ossikovski, Razvigor, Licitra, C.
Format: Artikel
Sprache:eng
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0030-4018
1873-0310