Characterization of grating structures by Mueller polarimetry in presence of strong depolarization due to finite spot size and spectral resolution
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Veröffentlicht in: | Optics communications 2009, Vol.282 |
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Hauptverfasser: | , , , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
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Online-Zugang: | Volltext |
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ISSN: | 0030-4018 1873-0310 |