High Frequency Characterization of Advanced MIM Capacitors Using SiN Dielectic Layers

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	IEEE transactions on components and packaging technologies 2008-09, Vol.31 (3), p.546-551
Hauptverfasser:	Piquet, J., Bermond, C., Thomas, M., Farcy, A., Lacrevaz, T., Blampey, B., Torres, J., Angénieux, G., Fléchet, B.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Electromagnetism Engineering Sciences
Online-Zugang:	Volltext
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