Experimental study of a pre-ionized high power pulsed magnetron discharge

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Plasma sources science & technology 2007-08, Vol.16 (3), p.501-510
Hauptverfasser: Vašina, P, Meško, M, Imbert, J C, Ganciu, M, Boisse-Laporte, C, de Poucques, L, Touzeau, M, Pagnon, D, Bretagne, J
Format: Artikel
Sprache:eng
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0963-0252
1361-6595
DOI:10.1088/0963-0252/16/3/009