Micromachining of Quartz Plates : Determination of a Database by Combined Stereographic Analysis and 3D Simulation of Etching Shapes

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	IEEE transactions on ultrasonics, ferroelectrics, and frequency control ferroelectrics, and frequency control, 2000-09, Vol.47 (5), p.1204-1216
Hauptverfasser:	Tellier, C.R., Leblois, T.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Engineering Sciences Micro and nanotechnologies Microelectronics
Online-Zugang:	Volltext
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