Structural investigation of thin films of Ti1-x AlxN ternary nitrides using Ti K-edges X-ray Absorption Fine Structure

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Surface & coatings technology 2007, Vol.201, p.4536-4541
Hauptverfasser:	Tuilier, M.-H., Pac, Marie-José, Covarel, G., Rousselot, Christophe, Khouchaf, L.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Engineering Sciences Materials
Online-Zugang:	Volltext
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