Procédés laser-particules : décontamination et nanofabrication

Procédés laser-particules : décontamination et nanofabrication

Les propriétés particulières des interactions entre une impulsion laser et des particules submicrométriques apportent de nouvelles solutions dans la course à la miniaturisation. Les travaux réalisés au laboratoire LP3 intéressent plus particulièrement les applications de nettoyage extrême pour l...

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Veröffentlicht in:Photoniques 2008, Vol.33 (33), p.50-54
Hauptverfasser: GROJO, David, DELAPORTE, Philippe
Format: Artikel
Sprache:fre
Schlagworte:
Applications biologiques et médicales
Applications industrielles
Domaines classiques de la physique (y compris les applications)
Optics
Optique
Physics
Physique
Sciences exactes et technologie
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DELAPORTE, Philippe
description Les propriétés particulières des interactions entre une impulsion laser et des particules submicrométriques apportent de nouvelles solutions dans la course à la miniaturisation. Les travaux réalisés au laboratoire LP3 intéressent plus particulièrement les applications de nettoyage extrême pour l'industrie des semi-conducteurs et participent au développement de nouvelles techniques de nanofabrication.
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