Procédés laser-particules : décontamination et nanofabrication

Les propriétés particulières des interactions entre une impulsion laser et des particules submicrométriques apportent de nouvelles solutions dans la course à la miniaturisation. Les travaux réalisés au laboratoire LP3 intéressent plus particulièrement les applications de nettoyage extrême pour l...

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Photoniques 2008, Vol.33 (33), p.50-54
Hauptverfasser:	GROJO, David, DELAPORTE, Philippe
Format:	Artikel
Sprache:	fre
Schlagworte:	Applications biologiques et médicales Applications industrielles Domaines classiques de la physique (y compris les applications) Optics Optique Physics Physique Sciences exactes et technologie
Online-Zugang:	Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Les propriétés particulières des interactions entre une impulsion laser et des particules submicrométriques apportent de nouvelles solutions dans la course à la miniaturisation. Les travaux réalisés au laboratoire LP3 intéressent plus particulièrement les applications de nettoyage extrême pour l'industrie des semi-conducteurs et participent au développement de nouvelles techniques de nanofabrication.
ISSN:	1629-4475 2269-8418