Columnar growth of AlN by r.f.magnetron sputtering:Role of the {1 0 -1 3}planes

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Journal of crystal growth 2007, Vol.307, p.245-252
Hauptverfasser:	Brien, Valérie, Miska, P., Bolle, Bernard, Pigeat, P.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Chemical Sciences Condensed Matter Cristallography Engineering Sciences Materials Science Mechanics Mechanics of materials Physics
Online-Zugang:	Volltext
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