Atomic layer deposition of platinum : GISAXS study of the initial island growth mode

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	Dendooven, Jolien, Karuparambil Ramachandran, Ranjith, Devloo-Casier, Kilian, Ludwig, Karl, Detavernier, Christophe
Format:	Tagungsbericht
Sprache:	eng
Schlagworte:	Physics and Astronomy
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