On the nucleation of PdSi and NiSi2 during the ternary Ni(Pd)/Si(100) reaction

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	Schrauwen, A, Demeulemeester, J, Kumar, A, Vandervorst, W, Comrie, CM, Detavernier, Christophe, Temst, K, Vantomme, A
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	BILAYERS Chemistry DIFFUSION MIXING ENTROPY PHASE-TRANSFORMATION SILICIDE FORMATION THERMAL-STABILITY THIN-FILMS
Online-Zugang:	Volltext
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