A nanophotonic NEMS-modulator in silicon-on-insulator

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	Roels, Joris, DE VLAMINCK, I, Van Thourhout, Dries, LAGAE, L, Taillaert, Dirk, Baets, Roel
Format:	Tagungsbericht
Sprache:	eng
Schlagworte:	Technology and Engineering
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