Efecto de la plata en las propiedades estructurales, ópticas y eléctricas de películas delgadas ZnO:Al/Ag/ZnO:Al

En este trabajo, se depositaron películas delgadas con estructura multicapa ZnO:Al/Ag/ZnO:Al con fuentes de radiofrecuencia (RF) y corriente pulsada (DC) en un sistema de erosión catódica de magnetrón sobre sustratos de vidrio a 50 [grados]C con diferentes tiempos de depósito de la capa de Ag. Los resultados mostraron que las películas delgadas mejoraron sus propiedades con el aumento del tiempo de depósito de la capa intermedia metálica, y con el tratamiento térmico a 300 [grados]C durante una hora. La transmitancia promedio más alta en el rango visible fue del 89%. Los mejores valores de resistividad y conductividad fueron [10.sup.-4] [OMEGA]*cm y [10.sup.3] [[OMEGA].sup.-1][cm.sup.-1], respectivamente. Finalmente, los patrones XRD mostraron que, con un incremento en el tiempo de depósito de la capa de Ag, se observa el pico del plano (111) perteneciente a Ag.