An ultrasonic laser sonar technique for copper damascene CMP metrology

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Solid state technology 2001-02, Vol.44 (2), p.67
Hauptverfasser:	Colgan, Michael, Morath, Chris, Tas, Guray, Grief, Malcolm
Format:	Magazinearticle
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:	0038-111X