Observations on the chemistry and physics of STI etch in [Cl.sub.2]-Ar plasmas

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Solid state technology 2000-12, Vol.43 (12), p.87
Hauptverfasser:	Werbaneth, Paul, Almerico, John
Format:	Magazinearticle
Sprache:	eng
Schlagworte:	Machinery industry Metal industry Production management
Online-Zugang:	Volltext
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!