What is the future of sub-l00nm CMOS: Ultrashallow junctions or ultrathin SOI?

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Solid state technology 2000-09, Vol.43 (9), p.66
Hauptverfasser:	Current, M.I, Bedell, S.W, Malik, I.J, Feng, L.M, Henley, F.J
Format:	Magazinearticle
Sprache:	eng
Schlagworte:	Product information Semiconductor industry Transistors
Online-Zugang:	Volltext
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