Tungsten CMP process developed

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Solid state technology 1998-04, Vol.41 (4), p.53-56
Hauptverfasser:	WIJEKOON, K, LIN, R, FISHKIN, B, YANG, S, REDEKER, F, AMICO, G, NANJANGUD, S
Format:	Magazinearticle
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Electronics Exact sciences and technology Microelectronic fabrication (materials and surfaces technology) Production management Production processes Semiconductor electronics. Microelectronics. Optoelectronics. Solid state devices Slurry Tungsten Tungsten industry
Online-Zugang:	Volltext
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