Dielectric antireflective coatings for DUV lithography

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Solid state technology 1997-03, Vol.40 (3), p.109-114
Hauptverfasser:	BENCHER, C, NGAI, C, ROMAN, B, LIAN, S, VUONG, T
Format:	Magazinearticle
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Coating processes Electronics Exact sciences and technology Methods Microelectronic fabrication (materials and surfaces technology) Photolithography Production management Semiconductor electronics. Microelectronics. Optoelectronics. Solid state devices Semiconductor industry
Online-Zugang:	Volltext
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