Scanning probe techniques for the electrical characterization of semiconductor devices

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Solid state technology 1995-07, Vol.38 (7), p.91
Hauptverfasser:	Dagata, J.A, Kopanski, J.J
Format:	Magazinearticle
Sprache:	eng
Schlagworte:	Quality management Scanning tunneling microscopy Semiconductor industry
Online-Zugang:	Volltext
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