Correction to: Co-sputtering of Al.sub.1-xSc.sub.xN thin films on Pt

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of materials science 2021-10, Vol.56 (28), p.16181
Hauptverfasser:	Solonenko, Dmytro, Lan, Chuanqi, Schmidt, Constance, Stoeckel, Chris, Hiller, Karla, Zahn, Dietrich R. T
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Dielectric films Thin films
Online-Zugang:	Volltext
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