Nanocatalyst-induced hydroxyl radical

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of materials science 2020-03, Vol.55 (8), p.3450
Hauptverfasser:	Poddar, Maneesh Kumar, Ryu, Heon-Yul, Yerriboina, Nagendra Prasad, Jeong, Yeon-Ah, Lee, Jung-Hwan, Kim, Tae-Gon, Kim, Jae-Hyun
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Ferrosilicon Hydroxides Integrated circuit fabrication Peroxides Semiconductor industry Semiconductors Spectrum analysis Tungsten
Online-Zugang:	Volltext
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