One-step fabrication of hierarchical structures: Poster presented at International Workshop on Advanced 3D Patterning, ad3pa 2017, Dresden, Germany, October 5-6, 2017

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	Rumler, Maximilian, Förthner, Michael, Kollmuss, Manuel, Baier, Leander, Stumpf, Florian, Becker, Marco, Rommel, Mathias, Frey, Lothar
Format:	Bild
Sprache:	eng
Schlagworte:	direct laser writing hierarchical structure nanoimprint lithography
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