Vorrichtung zum Erzeugen eines Hohlkathodenbogenentladungsplasmas
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Erzeugen eines Hohlkathodenbogenentladungsplasmas, umfassend zwei gegenüberliegend angeordnete Hohlkathoden (11; 12), wobei die Hohlkathoden (11; 12) an einen Pulsgenerator (15) angeschlossen sind, der zwischen den beiden Hohlkathoden (11; 12) eine bipolar...
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| Format: | Patent |
| Sprache: | ger |
| Online-Zugang: | Volltext bestellen |
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| Zusammenfassung: | Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Erzeugen eines Hohlkathodenbogenentladungsplasmas, umfassend zwei gegenüberliegend angeordnete Hohlkathoden (11; 12), wobei die Hohlkathoden (11; 12) an einen Pulsgenerator (15) angeschlossen sind, der zwischen den beiden Hohlkathoden (11; 12) eine bipolare, gepulste Spannung erzeugt. Dabei sind der Raum zwischen den beiden Hohlkathoden (11; 12) entlang der verlängerten Hohlkathodenachsen (13) und die beiden Hohlkathoden (11; 12) zumindest teilweise von einer Blende (14) umschlossen, wobei die Blendenfläche mindestens eine Öffnung (18) aufweist. |
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