Thin film metallization of PDMS with improved adhesion properties for micro electrode arrays: Presented at the 14th International Conference on Nanoimprint and Nanoprint Technology, NNT 2015. 22-24 October 2015, Napa, California

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	Scharin, Marina, Newcomer, Kate, Dirnecker, Tobias, Al-Naimi, A, Rumler, Maximilian, Rommel, Mathias, Frey, Lothar
Format:	Bild
Sprache:	eng
Schlagworte:	metal electrode patterning PDMS sputtering
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