Serielles Co-Sputtern :Entwicklung einer flexiblen Beschichtungstechnologie und deren Charakterisierung am Beispiel der Ratenerhöhung von Metalloxiden durch Co-Dotierung

Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2011

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Austgen, Michael
Format:	Web Resource
Sprache:	ger
Schlagworte:	Physik Reactive sputtering Reaktives Sputtern
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2011