Untersuchungen zum Reaktionsverhalten kristalliner Siliziumoberflächen in HF-basierten Ätzlösungen

Freiberg (Sachsen), Techn. Univ., Diss., 2009 Freiberg (Saxony), Techn. Univ., Diss., 2009 Freiberg (Sachsen), Techn. Univ., Diss., 2009

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Patzig-Klein, Sebastian
Format:	Web Resource
Sprache:	ger
Schlagworte:	Chemie
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Freiberg (Sachsen), Techn. Univ., Diss., 2009 Freiberg (Saxony), Techn. Univ., Diss., 2009 Freiberg (Sachsen), Techn. Univ., Diss., 2009