Investigation of the physical properties, performance and application of MEMS sensors based on bulk acoustic waves excited in piezoelectric thin film devices

Augsburg, Univ., Diss., 2007

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Format:	Web Resource
Sprache:	eng ; ger
Schlagworte:	Engineering and mechanical engineering Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau MEMS, high frequency, acoustic sensor MEMS, Hochfrequenz, Akustischer Sensor
Online-Zugang:	Volltext bestellen
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!

Beschreibung
Zusammenfassung:	Augsburg, Univ., Diss., 2007