Synthesis and Combinatorial Optimization of Novel Star-Shaped Resist Materials for Lithographic Applications

Bayreuth, Universität Bayreuth, Diss., 2012 Bayreuth, Universität Bayreuth, Diss., 2012

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1. Verfasser: Wieberger, Florian
Format: Web Resource
Sprache:eng ; ger
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Beschreibung
Zusammenfassung:Bayreuth, Universität Bayreuth, Diss., 2012 Bayreuth, Universität Bayreuth, Diss., 2012