Mikro- und nanostrukturierte Schichten mittels Gasphasenabscheidung von [H2AlOtBu]2 für den Einsatz in der Nanobiotechnologie

Saarbrücken, Univ., Diss., 2007

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Bibliographische Detailangaben
Format:	Web Resource
Sprache:	ger
Schlagworte:	Engineering and mechanical engineering Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau Nanodraht, CVD-Verfahren, Neodym-YAG-Laser, Aluminium, Aluminiumoxide Nanowire, CVD method, neodymium YAG laser, aluminum, aluminum oxides
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Saarbrücken, Univ., Diss., 2007