Multi-Eigenmode Control for Improved Tracking Speed in Multifrequency Atomic Force Microscopy

Ilmenau, Technische Universität Ilmenau, Diss., 2015 Ilmenau, Ilmenau University of Technology, Diss., 2015 Ilmenau, Technische Universität Ilmenau, Diss., 2015

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Schuh, Andreas
Format:	Web Resource
Sprache:	eng ; ger
Schlagworte:	active cantilever probes amplitude demodulation atomic force microscopy cantilever harmonics cantilever topology optimization Electrical engineering, electronics Elektrotechnik, Elektronik enhanced material contrast mapping fpga metrology multi-eigenmode control
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Ilmenau, Technische Universität Ilmenau, Diss., 2015 Ilmenau, Ilmenau University of Technology, Diss., 2015 Ilmenau, Technische Universität Ilmenau, Diss., 2015