Sposób wytwarzania rozwirowywanego źródła arsenu albo fosforu do dufuzji planarnej w krzemie

data publikacji: 1990-12-31 data zgłoszenia: 1987-03-11 numer publikacji: PL 151167 numer zgłoszenia: 264595 filing date: 1987-03-11

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Dobiech, Teresa, Gmyrek, Joachim, Kończak, Sławomir, Krompiec, Stanisław, Waczyński, Krzysztof, Krzysztof Waczyński
Format:	Web Resource
Sprache:	pol
Schlagworte:	arsen arsenic dyfuzja planarna fosfor krzem phosphorus planar diffusion
Online-Zugang:	Volltext bestellen
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!

Beschreibung
Zusammenfassung:	data publikacji: 1990-12-31 data zgłoszenia: 1987-03-11 numer publikacji: PL 151167 numer zgłoszenia: 264595 filing date: 1987-03-11