Sposób wytwarzania rozwirowywanego źródła antymonu do dyfuzji planarnej w krzemie

Sposób wytwarzania rozwirowywanego źródła antymonu do dyfuzji planarnej w krzemie

data publikacji: 1990-12-31 data zgłoszenia: 1987-03-11 numer publikacji: PL 151168 numer zgłoszenia: 264594 filing date: 1987-03-11

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Dobiech, Teresa, Kończak, Sławomir, Smyrek, Joachim, Waczyński, Krzysztof, Krzysztof Waczyński
Format: Web Resource
Sprache:pol
Schlagworte:
antimony
antymon
dyfuzja planarna
krzem
planar diffusion
Online-Zugang:Volltext bestellen
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Beschreibung
Zusammenfassung:data publikacji: 1990-12-31 data zgłoszenia: 1987-03-11 numer publikacji: PL 151168 numer zgłoszenia: 264594 filing date: 1987-03-11