Methodology for testing the epitaxial layers of silicon using a transmission electron microscope using Kikuchi line maps

Bibliogr. s. 30 Bibliogr. s. 30 s. 20-30 : il.

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Rupniewski Wojciech
Format:	Web Resource
Sprache:	pol
Schlagworte:	Electronic - journal - materials Electronic - materials Elektronika - czasopismo - materiały Materiały elektroniczne silicon epitaxial layer TEM
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Bibliogr. s. 30 Bibliogr. s. 30 s. 20-30 : il.