ARRANGEMENT FOR TRANSFERRING STRUCTURES

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Anordnung zur Übertragung von Strukturen auf eine zu strukturierende Schicht. Erfindungsgemässt umfasst die Anordnung zur Übertragung von Strukturen auf eine zur strukturierende Schicht eine strahlungsdurchlässige Schicht und eine strahlungsundurchlässige Schi...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	GUSSMANN, VIKTOR, BERGER, WILLI, SCHAAAUSEN, JOCHEN, HOCHMUTH, JUERGEN, SPIERER, HELGE, STRUCK, THOMAS, GOEDL, GERNOT, HAY, BERND
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre ; ger
Schlagworte:	APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR CINEMATOGRAPHY ELECTROGRAPHY HOLOGRAPHY MATERIALS THEREFOR ORIGINALS THEREFOR PHOTOGRAPHY PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES PHYSICS
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