ARRANGEMENT FOR TRANSFERRING STRUCTURES

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Anordnung zur Übertragung von Strukturen auf eine zu strukturierende Schicht. Erfindungsgemässt umfasst die Anordnung zur Übertragung von Strukturen auf eine zur strukturierende Schicht eine strahlungsdurchlässige Schicht und eine strahlungsundurchlässige Schi...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	GUSSMANN, VIKTOR, BERGER, WILLI, SCHAAAUSEN, JOCHEN, HOCHMUTH, JUERGEN, SPIERER, HELGE, STRUCK, THOMAS, GOEDL, GERNOT, HAY, BERND
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre ; ger
Schlagworte:	APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR CINEMATOGRAPHY ELECTROGRAPHY HOLOGRAPHY MATERIALS THEREFOR ORIGINALS THEREFOR PHOTOGRAPHY PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES PHYSICS
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Die vorliegende Erfindung betrifft eine Anordnung zur Übertragung von Strukturen auf eine zu strukturierende Schicht. Erfindungsgemässt umfasst die Anordnung zur Übertragung von Strukturen auf eine zur strukturierende Schicht eine strahlungsdurchlässige Schicht und eine strahlungsundurchlässige Schicht, wobei die strahlungsundurchlässige Schicht eine oder mehrere Strukturöffnungen aufweist, die in ihrer Form der zu übertragenden Struktur angepasst sind. Die erfindungsgemässe Anordnung ist dadurch gekennzeichnet, dass eine Rahmenöffnung vorgesehen ist, welche die Strukturöffnungen umschliesst. The invention relates to an arrangement for transferring structures to a layer that is to be structured. The inventive arrangement comprises a radioparent layer and a non-radioparent layer, whereby said radioparent layer has one or several structural openings, the shape of which is adapted to the transferring structure. The inventive arrangement is characterised in that a frame opening encompassing the structural openings is also provided. La présente invention concerne un dispositif pour le transfert de structures sur une couche à structurer. Selon l'invention, ce dispositif comporte une couche perméable aux rayonnements et une couche imperméable aux rayonnements, la couche imperméable aux rayonnements présentant une ou plusieurs ouvertures de transfert de structures, dont la forme est adaptée à la structure à transférer. Le dispositif selon l'invention se caractérise en qu'il comporte une ouverture en forme de cadre qui entoure les ouvertures de transfert de structures.