PROCESS FOR DETERMINING THE THICKNESS OF A LAYER OF ELECTROCONDUCTIVE MATERIAL

Bei einem Verfahren zur Bestimmung einer Dicke einer Schicht aus elektrisch leitendem Material werden die Messfehler mit Hilfe eines Normierungsverfahrens in dimensionslose Normwerte umgewandelt. Bei dieser Umwandlung können Messfehler, zum Beispiel durch Temperaturdrift und unterschiedliche elektrische und magnetische Eigenschaften des Grundstoffs des Trägerkörpers weitgehend eliminiert werden. Mit Hilfe einer Eichkurve werden diese Normwerte in Schichtdickenwerte umgewandelt. In a process for determining the thickness of a layer of electroconductive material, the measurement errors are converted into dimensionless standardised values by a standardisation process. During this conversion, measurement errors, for example due to temperature drift and different electric and magnetic properties of the basic material of which the backing body is made, can be largely eliminated. These standardised values are converted into layer thickness values by means of a calibration curve. Selon ce procédé pour déterminer l'épaisseur d'une couche de matériau électroconducteur, les erreurs de mesure sont converties en valeurs normalisées non dimensionnelles par un procédé de normalisation. Pendant la conversion, les erreurs de mesure, dues par exemple à la dérive thermique et à différentes propriétés électriques et magnétiques de la matière dont est constitué le corps porteur, peuvent être éliminées dans une large mesure. Ces valeurs normalisées sont converties en valeurs d'épaisseur de la couche sur la base d'une courbe d'étalonnage.