ATOMIC FORCE MICROSCOPE PROBE

In an atomic force microscope probe with an electroconducting spring-mounted stylus and an electroconducting probe point, the spring-mounted stylus is provided with a shielding electrode and an electrically insulating layer is arranged between the shielding electrode and the spring-mounted stylus. E...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: GUENTHER, EWALD, LEUSCHNER, RAINER, OHLSSON, OLAF
Format: Patent
Sprache:eng ; fre ; ger
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Beschreibung
Zusammenfassung:In an atomic force microscope probe with an electroconducting spring-mounted stylus and an electroconducting probe point, the spring-mounted stylus is provided with a shielding electrode and an electrically insulating layer is arranged between the shielding electrode and the spring-mounted stylus. Electrostatic forces produced during operation may thus be eliminated. Bei einer Kraftmikroskopiesonde mit einem elektrisch leitenden Federbalken und einer elektrisch leitfähigen Sondenspitze ist der Federbalken mit einer Abschirmelektrode versehen, und zwischen Abschirmelektrode und Federbalken ist eine elektrisch isolierende Schicht angeordnet. Auf diese Weise können die im Betrieb auftretenden elektrostatischen Kräfte eliminiert werden. Sonde pour microscopie à forces atomiques comprenant une lame élastique électro-conductrice et une pointe de sonde électroconductrice, caractérisée en ce que la lame élastique est munie d'une électrode-écran, et en ce qu'une couche électriquement isolante est disposée entre l'électrode-écran et la lame élastique. De cette manière, les forces électrostatiques se présentant lors du fonctionnement peuvent être éliminées.