CRYOPUMP

Kryopumpe (1) mit während ihres Betriebs auf unterschiedlichen Temperaturen gehaltenen Pumpflächen (8, 9, 12, 13), die in einem Gehäuse (2) mit einem Flansch (4) zum Anschluss der Pumpe (1) an einem Rezipienten (25) angeordnet sind; um ihr Saugvermögen für leicht kondensierbare Gase zu verbessern, i...

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1. Verfasser: MUNDINGER, HANS-JUERGEN
Format: Patent
Sprache:eng ; fre ; ger
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Beschreibung
Zusammenfassung:Kryopumpe (1) mit während ihres Betriebs auf unterschiedlichen Temperaturen gehaltenen Pumpflächen (8, 9, 12, 13), die in einem Gehäuse (2) mit einem Flansch (4) zum Anschluss der Pumpe (1) an einem Rezipienten (25) angeordnet sind; um ihr Saugvermögen für leicht kondensierbare Gase zu verbessern, ist sie mit weiteren für die Anlagerung von leicht kondensierbaren Gasen bestimmten Pumpflächen (26) ausgerüstet, die sich ausserhalb ihres Gehäuses (2) befinden und mit der ersten Stufe des Kaltkopfes (6) eines mindestens zweistufigen Refrigerators (5) über mindestens eine Kältebrücke (28) in Verbindung stehen. This invention concerns a cryopump (1) comprising pump sufaces (8, 9, 12, 13) which are held at different temperatures during operation and are located in a housing (2) with a flange (4) for connecting the pump (1) to a recipient (25). To improve its suction performance with easily condensable gases, the pump (1) is equipped with additional pump surfaces (26) for the accumulation of easily condensable gases. These additional surfaces (26) are situated outside the pump housing (2) and are connected via a cold bridge (28) to the first stage of the refrigeration head (6) of a refrigerator (5) including at least two stages. L'invention concerne une cryopompe (1) comportant des surfaces de pompe (8, 9, 12, 13) maintenues à différentes températures pendant leur fonctionnement et placées dans un boîtier (2) avec un rebord (4) pour raccorder la pompe (1) à un récipient (25). Afin d'améliorer la puissance de pompage de ladite pompe pour des gaz facilement condensables, il est prévu d'équiper cette pompe de surfaces de pompe supplémentaires (26) conçues pour l'accumulation de gaz facilement condensables. Lesdites surfaces supplémentaires se trouvent à l'extérieur du boîtier (2) et communiquent avec le premier étage de la tête frigorifique (6) d'un réfrigérateur (5) à au moins deux étages, par l'intermédiaire d'un pont thermique (28).