LOW VOLTAGE ELECTROSTATIC CLAMP FOR SUBSTRATES SUCH AS DIELECTRIC SUBSTRATES

An electrostatic clamp (10) for dielectric substrates (12) is operated with a low voltage electric source by reducing the width of electrode lines (14) to less than 100 mu m and by reducing the spacing between adjacent electrode lines to less than 100 mu m. The electrostatic clamp (10) includes an array of electrodes (14) such as aluminum formed on a base of insulating material (12) such as glass and covered by an insulating layer (24) such as nitride which covers and protects the electrodes. Electrical contacts (16, 18) apply voltages of opposite polarities to alternating electrode lines (14) to create a non-uniform electric field which causes a dielectric substrate (22) to be pulled toward the region of highest electric field. The reduced width electrode lines and spacings are created by the use of micro-lithographic techniques including thin film deposition and etching for formation of the electrode and the coating layers. Un dispositif de serrage électrostatique (10) destiné à des substrats diélectriques (12) est mis en oeuvre par une source électrique basse tension, la largeur des lignes d'électrodes (14) étant réduite à moins de 100 mu m et l'espacement entre les lignes d'électrode adjacentes étant réduit à moins de 100 mu m. Le dispositif (10) de serrage électrostatique comprend un réseau d'électrodes (14) telles que des électrodes en aluminium formées sur une base de matériau isolant (12) tel que du verre et recouvert par une couche isolante (24) telle que du nitrure qui recouvre et protège les électrodes. Des contacts électriques (16, 18) appliquent des tensions de polarités opposées sur les lignes d'électrodes (14) alternatives pour créer un champ électrique non uniforme qui provoque l'attraction du substrat diélectrique vers la région de champ électrique maximum. On crée les lignes d'électrodes et les espacements à largeur réduite à l'aide de techniques micro-lithographiques comprenant le dépôt de film mince et la gravure pour former l'électrode et les couches de revêtement.