A METHOD OF ACCURATE COMPOSITIONAL ANALYSIS OF DIELECTRIC FILMS ON SEMICONDUCTORS

A METHOD OF ACCURATE COMPOSITIONAL ANALYSIS OF DIELECTRIC FILMS ON SEMICONDUCTORS

A method of accurately determining the composition of a dielectric film in a semiconductor device by performing a compositional analysis on a film only portion of the semiconductor device. Procédé permettant d'analyser avec précision la composition de la couche diélectrique d'un dispositif...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: ALVIS, ROGER, L, ROMERO, JEREMIAS, D, FATEMI, HOMI
Format: Patent
Sprache:eng ; fre
Schlagworte:
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
ELECTRICITY
SEMICONDUCTOR DEVICES
Online-Zugang:Volltext bestellen
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Beschreibung
Zusammenfassung:A method of accurately determining the composition of a dielectric film in a semiconductor device by performing a compositional analysis on a film only portion of the semiconductor device. Procédé permettant d'analyser avec précision la composition de la couche diélectrique d'un dispositif semi-conducteur en analysant la composition d'une partie couche uniquement du dispositif.