PROCESS FOR PRODUCING LAYERS OF CUBIC BORON NITRIDE

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von verschleissfesten Schichten aus kubischem Bornitrid oder solches enthaltenden verschleissfesten Schichten durch Aufstäuben (Sputtern) mit Hochfrequenz oder mit Gleichspannung in der Betriebsart als unbalanciertes Magnetron, bei der die Plasmae...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	DAAUD, SIMONE, BEWILOGUA, KLAUS, LUETHJE, HOLGER
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre ; ger
Schlagworte:	CHEMICAL SURFACE TREATMENT CHEMISTRY COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL COATING METALLIC MATERIAL DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL METALLURGY SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION
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