PROCESS FOR OPERATING A CRYOPUMP AND VACUUM PUMP SYSTEM WITH CRYOPUMP AND FORE-PUMP

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Betrieb einer Kryopumpe (1) mit kühlbaren Pumpflächen (5, 6, 8, 9) und mit einer Vorpumpe (15); um sowohl den Aufwand für die Erzeugung des Vorvakuum- bzw. Startdruckes zu reduzieren als auch die Gefahr von Ölkontaminationen zu beseitigen, wird vorgeschlagen, dass mit der Einkühlung der Pumpflächen der Kryopumpe bei einem von der Vorpumpe erzeugten Startdruck grösser 1 mbar begonnen wird; vorzugsweise ist die Vorpumpe eine Membranvakuumpumpe. A process is disclosed for operating a cryopump (1) with coolable pump surfaces (5, 6, 8, 9) and a fore-pump (15). In order to reduce fore-vacuum or initial pressure generation costs and to eliminate the danger of oil contamination, cooling of the pump surfaces of the cryopump starts at more than 1 mbar initial pressure generated by the fore-pump. The fore-pump is preferably a diaphragm vacuum pump. L'invention concerne un procédé d'exploitation d'une pompe cryogénique (1) avec des surfaces refroidissables de pompage (5, 6, 8, 9) et avec une pompe à vide préliminaire (15). Afin de réduire les coûts de génération du vide préliminaire ou de la pression de démarrage, ainsi que pour éliminer le danger de contamination avec de l'huile, on commence à refroidir les surfaces de pompage de la pompe cryogénique sous une pression de démarrage supérieure à 1 mbar générée par la pompe à vide préliminaire. La pompe à vide préliminaire est de préférence une pompe à vide à diaphragme.