DEVICE FOR INDEXING MAGAZINE COMPARTMENTS AND WAFER-SHAPED OBJECTS IN THE COMPARTMENTS

Described is an indexing device for indexing magazine compartments and wafer-shaped objects in the compartments. The aim of the invention is to ensure that a removal and insertion device has precise access to the magazine in any given plane, independent of dimensional tolerances. The invention calls...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	SCHULTZ, KLAUS, BIRKNER, ANDREAS, LAHNE, BERNDT
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre ; ger
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY MEASURING MEASURING ANGLES MEASURING AREAS MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS PHYSICS SEMICONDUCTOR DEVICES TESTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Described is an indexing device for indexing magazine compartments and wafer-shaped objects in the compartments. The aim of the invention is to ensure that a removal and insertion device has precise access to the magazine in any given plane, independent of dimensional tolerances. The invention calls for the measurement beam (10) of an optoelectronic sensor consisting of an emitter (7) and a receiver (8) to be used to determine not only the locations of the objects (13) but also the locations of the compartments (12) relative to a reference plane (E-E) whose location is defined with respect to a handling plane (H-H) for removal and feed. The height of the magazine (11) can be altered by measured amounts by means of a support platform (2) and a lift to permit removal and insertion of objects. The invention is intended for use in the manufacture of integrated circuits, and in particular for handling wafer-shaped objects. L'invention concerne un dispositif permettant d'indexer les compartiments d'un magasin et les objets qu'ils contiennent sous forme de tranches. L'invention vise à permettre à un dispositif de chargement et de déchargement d'avoir un accès précis à tout plan prédéterminable du magasin, indépendamment des tolérances dimensionnelles. Le faisceau de mesure (10) d'un détecteur optoélectronique composé d'un émetteur (7) et d'un récepteur (8) sert non seulement à détecter la position des objets (13) se présentant sous forme de tranches, mais également la position des compartiments (12) du magasin par rapport à un plan de référence (E-E) dont l'emplacement est défini par rapport à un plan de manipulation (H-H) pour le chargement et le déchargement. Le magasin (11) peut être déplacé en hauteur au moyen d'un support de réception (2), à des fins de chargement et de déchargement, de manière mesurable, par l'intermédiaire d'un dispositif élévateur. L'invention est destinée à la fabrication de circuits intégrés, notamment pour la manipulation d'objets se présentant sous forme de tranches.